简介:在研发一套基于0.18μm工艺的全新半导体芯片时,由于芯片工艺的要求我们将标准0.18μm工艺流程中的接触孔蚀刻阻挡层由原来的UVSIN+SION改为SIN,但却引进了PID(等离子体损伤)的问题。当芯片的关键尺寸减小到0.18μm时,栅氧化层变得更薄,对等离子体的损伤也变得更加敏感。所以如何改善PID也成为这款芯片能否成功量产的重要攻坚对象。这一失效来源于接触孔阻挡层的改变,于是将改善PID的重点放在接触孔蚀刻阻挡层之后即后段工艺上。后段的通孔蚀刻及钝化层的高密度等离子体淀积会产生较严重的等离子体损伤,因此如何改善这两步工艺以减少等离子体损伤便成为重中之重。文中通过实验验证了关闭通孔过蚀刻中的磁场以及减小钝化层的高密度等离子体淀积中的溅射刻蚀功率可以有效改善芯片的等离子体损伤。通过这两处的工艺优化,使得PID处于可控范围内,保证了量产的芯片质量。
简介:摘要:当前社会处于急剧变革的转型时期,原有的学校教育模式正经历着“以教师为中心”向“以学生为中心”的转变,使教育回归“原生态”。学校绿色生态文化教育就是使教育回归“原生态”,它不仅关注学生知识的获得、技能的形成,而且还关注学生的身体、情感、社会性、艺术审美等全面素质的发展。本文从学校绿色生态文化的理论基础和绿色生态文化的分类来介绍高等教育中的绿色生态文化教育。
简介:摘要社会不断发展,人们对于生活品质和生活质量更加重视。,对于教育提出了更多的要求,在实际生活当中随处都可以看到教育,教学活动中的一些素材也是来源于生活,生活和教育都是相互辅助的。陶行知的“生活教育”思想影响着幼儿园的教育活动,需要得到有效的借鉴。