简介:摘要研究了光刻机曝光过程中,热效应引起焦平面发生漂移的原因,并对热效应过程进行分析,通过光照时间与冷却时间的关系对应焦平面漂移关系,及时进行焦平面补偿,以及对成像系统进行温度控制,可对焦平面漂移进行有效控制
简介:雷电危险度是反映雷电灾害危害程度的综合指标,本文利用大连地区ADTD型闪电定位系统监测资料、雷暴日观测资料、雷电灾害调查资料、1679个防雷被检单位的检测数据及地形地貌等资料,基于可拓学综合评估方法对大连地区雷电灾害危险度进行了评估研究。结果表明:从影响雷电危险度等级的雷电活动特征、防灾减灾能力及待评估现状3个方面选取了12个评估指标,基于现场调查建立了大连地区雷电危险度可拓学综合评估体系。利用关联函数和物元理论判定了雷电危险度的经典域与节域,基于熵值赋权法确定了各评估指标的权重系数,对大连地区雷电危险度进行了等级划分,并通过实例验证雷电危险度等级综合评估方法的合理性。
简介:基于中国、美国、欧洲和日本的4种气候模式对1983—2010年东北地区降水的回报试验结果,利用2011—2014年东北地区业务应用的结果和国家气象信息中心提供的东北地区172个气象站的观测资料,采用距平相关系数(ACC)、趋势异常综合评分(Ps)和距平符号一致率(Pc)3种定量方法对比评估了4种模式对东北地区月降水的预测性能。结果表明:EC模式和CFSv2模式与BCC模式和TCC模式相比,EC模式和CFSv2模式对东北地区月降水的总体预测效果较好,具有一定的预测技巧。从空间上来看,CFSv2模式各月Pc的分布存在较明显的差异,模式仍有较大的改进空间。CFSv2模式对东北地区初夏典型旱涝年具有一定的预测能力,对典型涝年的预测效果优于典型旱年。