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  • 简介:摘 要:此前,公司钝化层使用的光刻 AZ6130为进口光刻,采购周期长且成本较高。为了缩短采购周期同时降低成本,特考虑使用国产光刻 RZJ-306B替代该层次的进口光刻。本文从颗粒、 Spin curve、留膜率、膜厚均匀性与稳定性、曝光工艺窗口、线宽( CD) &光刻形貌、缺陷、抗干法刻蚀能力及去胶能力等九个方面评估国产光刻 RZJ-306B的各项性能,实验结果表明其单项工艺能力与原进口光刻 AZ6130相比满足现有产品生产要求。同时,进一步实验表明,国产光刻 RZJ-306B替代进口光刻 AZ6130应用于实际生产。钝化层光刻国产化使得该层光刻采购周期缩短了一半,生产成本降低了约 50%。

  • 标签: 光刻胶 国产 性能 评估 可替代
  • 简介:摘要:陡直度与很多因素有关,如介质的材料、光刻的种类以及工艺参数等。在本文中,实验环境固定在硅介质表面,采用罗门哈斯公司生产的 LC100A型光刻,在已有成熟工艺的基础上,实验采用分段显影方法、改善前烘条件以及加入 PEB烘干对提高陡直度的影响。对陡直度的评价采用显微镜定性观察,扫描电镜测量的方法。

  • 标签: 光刻胶陡直度 提高方法
  • 简介:摘要:近年来,随着社会建设的不断发展,在超快时间尺度上以二维空间分辨率揭示激光脉冲在光刻之间的运动过程,将有助于了解激光加工过程和优化加工工艺。然而现有记录激光脉冲在光刻中运动过程的成像技术都存在需要多次重复拍摄或时间分辨率受限等问题。为了克服这些问题,通过使用压缩超快摄影来观测光刻中激光脉冲的运动。实验结果表明,搭建的实验系统能以1.54×1011fps的帧率,单次成像数百帧的图像序列深度,实时观测到这一不可重复的超快事件。

  • 标签: 光刻胶 应用 优化
  • 简介:摘要:光刻光刻工艺的核心,是PCB印刷电路板、LCD液晶显示和半导体等各应用行业的上游材料,在电路板、液晶显示和半导体行业中有着广泛的应用;本文对高性能光刻用色浆的开发应用进行技术研究,通过盐研磨技术创新,实现技术工艺路线创新。

  • 标签: 光刻胶 色浆 技术创新
  • 简介:摘要:随着芯片集成度的持续改进, UV全光谱技术已经被替换为更加精细的短波曝光,这使得光刻的分辨率大大提高,因此,为了满足更加精确、更加细致的要求,化学增强型光刻便随之诞生。“化学增幅”技术可以显著提升光刻的量子转换效率,并且具备更高的灵活性,从而可以应用于深紫外光谱和 UV光谱等领域。而用高性能树脂作光刻的成膜材料,则会对其性能产生很大的影响。本文深入探讨了化学增强型光刻材料的研究进展,希望能对相关研究做出参考性建议。

  • 标签: 光刻胶 化学增幅 研究进展
  • 简介:摘要:使用RE215L锥板粘度计对光刻样品的表观粘度进行了测试,通过分析转动时间,转速及扭矩等因素对光刻粘度的影响,验证了转速对粘度,扭矩对粘度之间存在一定的线性关系。并对光刻的粘度测试方法进行了探索,验证合适的扭矩对粘度的测量具有重要的意义,可为光刻粘度的测定及在基板上方涂布应用提供参考价值。

  • 标签: 光刻胶 粘度 转速 扭矩 影响因素
  • 简介:摘要:使用RE215L锥板粘度计对光刻样品的表观粘度进行了测试,通过分析转动时间,转速及扭矩等因素对光刻粘度的影响,验证了转速对粘度,扭矩对粘度之间存在一定的线性关系。并对光刻的粘度测试方法进行了探索,验证合适的扭矩对粘度的测量具有重要的意义,可为光刻粘度的测定及在基板上方涂布应用提供参考价值。

  • 标签: 光刻胶 粘度 转速 扭矩 影响因素
  • 简介:日前,德国CHTR.Beitlich公司开发出一种名为PRINTPERFEKTS1的印花剂,据称可以替代塑料熔用于厚型织物的印花。该助剂基于有机硅树脂聚合物,具有良好的透明性,焙烘时间极短。经其印制的纺织品具有印痕突出,富有塑性、光泽、闪光和金属感的三维立体印花效果,以及高防滑性,且不会被粘住。这种印花助剂还具有优异的印制性能;符合生态环保要求;具有弹眭好目手感柔软,不含聚氯乙烯等优点。此外,这种助剂还可以调节成有光泽或无光泽的印花效果,不需压烫便具有高度光泽性。

  • 标签: 印花助剂 塑料 可替代 研发 印花效果 树脂聚合物
  • 简介:摘要:随着交通工程的不断发展,道路材料性能评估成为保障交通基础设施可持续发展的关键因素之一。通过对各种道路材料的力学、热学、耐久性等性能进行全面评估,确保其在不同环境和负荷条件下具备稳定可靠的工程性能。关注道路材料的可再生性和环境友好性,推动绿色材料的研发和应用,为可持续发展提供技术支持。结合先进的监测和评估技术,建立完善的道路材料管理体系,实现实时监控和精准维护,延长道路寿命,降低工程生命周期成本。

  • 标签: 道路材料,性能评估,可持续交通工程,绿色材料,监测技术
  • 简介:摘要本论文确定了社区规模的可持续性发展定义,并探讨了社区可持续性发展的关键要素,通过分析、比较目前现有的社区可持续性评估方法,明确了各种评估模式的优势以及其在社区范畴上的局限性,并通过使用分析改进了评估方法,在此基础上设计了一个针对社区可持续性发展的替代评估框架。

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  • 简介:Si1-x-yGexCy是继Si和GaAs之后又一重要的半导体材料。由于Si1-x-yGexCy具有优于纯Si材料的良好特性,器件和制程又可与SL工艺兼容,采用Si1-x-yGexCy及其Si1-x-yGexCy/Si结所制作出来的器件如异质结双极晶体管(HeterojunctionBipolarTransistor,HBT),其电性能几乎可达到GaAs等化合物半导体制作的同类器件的水平,而且在成本上低于GaAsHBT。因此Si1-x-yGexCy可能是未来微电子发展进程中必不可少、并起着关键作用的一种材料。文章对Si1-x-yGexCy薄膜的表征进行了探索,在总结大量数据的基础上,验证了利用Si1-x-yGexCy薄膜的反射率进行光学表征的方法的可行性。同时,文章系统研究了Si1-x-yGexCy薄膜的工艺条件、薄膜成份、薄膜厚度等参数对光刻对准性能的影响。

  • 标签: SI1-X-YGEXCY 光学表征对准性能 HBT异质结双极晶体管
  • 简介:摘要:道路建设是城市发展和交通系统的关键组成部分,因此在材料选择和性能评估方面的可持续性至关重要。本论文旨在研究在道路建设中选择持续材料的策略,并针对这些材料进行性能评估。首先,我们综述了持续材料的类型和特点,包括再生材料、低碳材料和环保材料。然后,我们介绍了一套综合的性能评估方法,包括耐久性、环境影响和经济性等方面的考虑。最后,我们通过实例研究分析了不同持续材料在道路建设中的应用,并总结了选择和评估持续材料的关键因素。本研究为促进道路建设领域的可持续发展提供了有益的指导和参考。

  • 标签: 道路建设 可持续材料 性能评估 再生材料 低碳材料 环保材料
  • 简介:我们知道,在所谓的“空气”中,维系我们生存的必要气体——氧气,在大气中所占比例排名第二(21%)。稳居榜首的是氮气,它在地球大气中含量高达78%,

  • 标签: 气体 配方 呼吸 地球大气 氧气 氮气
  • 简介:抗生素从研发至今,对人类的健康和生命的保护功不可没,但现在正是抗生素的滥用,抗生素又成为威胁人类健康、生命和环境的重要因素,控制抗生素的滥用已到了刻不容缓的地步。

  • 标签: 抗生素 可替代 中药 人类健康 生命 滥用
  • 简介:以张艺谋、冯小刚为代表的中国主流商业电影,在中国电影的市场化、产业化过程中做了许多有益的探索。他们创作的“商业大片”具有大投入、大制作、大营销、大市场等营销性特征,表现为对著名导演、大牌明星、具有吸引力的故事以及独特的视觉造型等营销元素的运用。他们为中国电影产业化所做的贡献是不容忽视的,但也存在题材样式过分狭窄和电影后产品开发不足等问题,有待进一步改进和提高。

  • 标签: 商业电影 “大片” 营销 产业化
  • 简介:垫层材料在装置中常常填充部件与部件之间的间隙,并对某些部件起保护作用,垫层在以前的使用中是采用双面胶带进行粘贴,目前采用了在垫层表面表糊压敏胶的工艺以代替双面,由于压敏胶直接表糊在垫层表面,对垫层力学性能的影响就成为生产和使用单位关注的重点之一。研究了垫层带前后的厚度、压缩应力应变曲线、压缩应力松弛等性能的变化,研究结果表明:垫层涂胶后,厚度(包括层)比不涂胶的厚度略小0.01112111、垫层涂胶后压缩性能变硬、压缩永久变形增大、在相同应力下,应变略小2%-4%,影响最大的是应力松弛,带垫层的应力松弛超过了25%。

  • 标签: 垫层材料 性能影响 力学性能 压缩应力松弛 应力应变曲线 压缩永久变形