简介:摘 要:此前,公司钝化层使用的光刻胶 AZ6130为进口光刻胶,采购周期长且成本较高。为了缩短采购周期同时降低成本,特考虑使用国产光刻胶 RZJ-306B替代该层次的进口光刻胶。本文从颗粒、 Spin curve、留膜率、膜厚均匀性与稳定性、曝光工艺窗口、线宽( CD) &光刻胶形貌、缺陷、抗干法刻蚀能力及去胶能力等九个方面评估了国产光刻胶 RZJ-306B的各项性能,实验结果表明其单项工艺能力与原进口光刻胶 AZ6130相比可满足现有产品生产要求。同时,进一步实验表明,国产光刻胶 RZJ-306B可替代进口光刻胶 AZ6130应用于实际生产。钝化层光刻胶国产化使得该层光刻胶采购周期缩短了一半,生产成本降低了约 50%。
简介:摘要:随着交通工程的不断发展,道路材料性能评估成为保障交通基础设施可持续发展的关键因素之一。通过对各种道路材料的力学、热学、耐久性等性能进行全面评估,确保其在不同环境和负荷条件下具备稳定可靠的工程性能。关注道路材料的可再生性和环境友好性,推动绿色材料的研发和应用,为可持续发展提供技术支持。结合先进的监测和评估技术,建立完善的道路材料管理体系,实现实时监控和精准维护,延长道路寿命,降低工程生命周期成本。
简介:摘要本论文确定了社区规模的可持续性发展定义,并探讨了社区可持续性发展的关键要素,通过分析、比较目前现有的社区可持续性评估方法,明确了各种评估模式的优势以及其在社区范畴上的局限性,并通过使用分析改进了评估方法,在此基础上设计了一个针对社区可持续性发展的可替代的评估框架。
简介:Si1-x-yGexCy是继Si和GaAs之后又一重要的半导体材料。由于Si1-x-yGexCy具有优于纯Si材料的良好特性,器件和制程又可与SL工艺兼容,采用Si1-x-yGexCy及其Si1-x-yGexCy/Si结所制作出来的器件如异质结双极晶体管(HeterojunctionBipolarTransistor,HBT),其电性能几乎可达到GaAs等化合物半导体制作的同类器件的水平,而且在成本上低于GaAsHBT。因此Si1-x-yGexCy可能是未来微电子发展进程中必不可少、并起着关键作用的一种材料。文章对Si1-x-yGexCy薄膜的表征进行了探索,在总结大量数据的基础上,验证了利用Si1-x-yGexCy薄膜的反射率进行光学表征的方法的可行性。同时,文章系统研究了Si1-x-yGexCy薄膜的工艺条件、薄膜成份、薄膜厚度等参数对光刻对准性能的影响。
简介:垫层材料在装置中常常填充部件与部件之间的间隙,并对某些部件起保护作用,垫层在以前的使用中是采用双面胶带进行粘贴,目前采用了在垫层表面表糊压敏胶的工艺以代替双面胶,由于压敏胶直接表糊在垫层表面,对垫层力学性能的影响就成为生产和使用单位关注的重点之一。研究了垫层带胶前后的厚度、压缩应力应变曲线、压缩应力松弛等性能的变化,研究结果表明:垫层涂胶后,厚度(包括胶层)比不涂胶的厚度略小0.01112111、垫层涂胶后压缩性能变硬、压缩永久变形增大、在相同应力下,应变略小2%-4%,影响最大的是应力松弛,带胶垫层的应力松弛超过了25%。