金刚线切割单晶硅片工艺技术理论研究

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摘要 摘要:随着国内金刚线制造和应用技术的不断成熟,加之市场需求的快速增长不断的刺激金刚线制造技术发展迅速,金刚线切割工艺已成为行业内硅片制造技术发展趋势[1]。如何通过有效的切割技术及现场控制,降低金刚线切割生产成本,就是硅片制造技术需要研究的重要方向。本文主要针对金刚线切割技术及过程中切割异常分析进行分析。
作者 秦忠
出处 《当代电力文化》 2021年24期
出版日期 2021年11月23日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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