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单晶硅片表面脏污原因分析及解决措施程志峰

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摘要摘要单晶硅片表面脏污是金刚线切片行业中常见的不良。总结了单晶硅片清洗过程后出现表面脏污的几种类型，分析其产生产生机理，通过实验验证，提出了解决办法。

DOI pd5wzewrd7/3652123

作者程志峰张晓俊赵洪军

机构地区（黄河上游水电开发有限责任公司青海西宁810008）

出处《电力设备》 2019年12期

关键词单晶硅片表面脏污预清洗清洗硅粉

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2019年11月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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电力设备

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