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电气工程
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光干涉理论在制膜工程技术中的应用

作者：吴纲
学科：电气工程 > 电机
创建时间：2006-04-14
出处：《上海电机学院学报》 2006年第4期

简介：介绍了利用光干涉法动态监控膜厚的原理，并介绍了对生产薄膜设备和镀膜设备在工作时对膜厚动态检测和控制。
标签：光学薄膜光的干涉光程差镀膜

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