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光干涉理论在制膜工程技术中的应用

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摘要介绍了利用光干涉法动态监控膜厚的原理，并介绍了对生产薄膜设备和镀膜设备在工作时对膜厚动态检测和控制。

DOI 7j6v0r37d0/586542

作者吴纲

机构地区不详

出处《上海电机学院学报》 2006年4期

关键词光学薄膜光的干涉光程差镀膜

分类 [电气工程][电机]

出版日期 2006年04月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

上海电机学院学报

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