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  • 简介:GaAs半导体材料可以提高器件运行速度,日益引起人们的注意,但是也给器件制造者带来了许多问题。在本文个,一个全新的可应用于HEMT器件的深亚微米X射线T栅工艺被提出来,该工艺采用三层胶方法,曝光实验是在北京同步辐射3BlA束线上进行的,并且取得了好的结果。

  • 标签: GAAS 半导体材料 亚微米X射线T型栅工艺 制造 半导体器件 X射线光刻
  • 简介:本文采用多功能四X射线衍射仪测绘出立方相GaN/GaAs(001)外延层的极图和倒易空间mapping,研究了六角相GaN和立方相微孪晶的取向、晶粒形状和极性等特征。结果表明外延层中片状六角相与立方相之间的取向关系为:(111)//(0001)、<112>//<1010>。由于(111)Ga面的外延速度远高于{111}N面,导致较多六角相和立方相微孪晶在[110]或[110]方向上的(111)Ga面和(111)Ga面上形成,而在[110]或[110]方向上六角相和立方相微孪晶含量较低。外延层中立方相微孪晶的含量明显低于六角相,表明六角相的形成可以更有效的释放局部应力集中。

  • 标签: 立方相 GAN 外延层 X射线四圆衍射分析 氮化镓 外延生长
  • 简介:用同步辐射原位高压能散X射线衍射技术,对碳纳米进行了结构和物性的研究,压力达50.7GPa。在室温常压下,碳纳米的结构和石墨的hcp结构相似,其(002)衍射线的面间距为d002=0.3404nm,(100)衍射线的面间距为d100=0.2116nm。从高压X射线衍射实验看到,当压力升到8GPa以上,(002)线变宽变弱,碳纳米部分非晶化。而当压力从10GPa或20GPa卸压至零,(002)线部分恢复。但当压力升至最高压力50.7GPa时,碳纳米完全非晶化,而且这个非晶化相变是不可逆的。我们用Birch-Murnaghan方程拟合实验数据,得到体弹模量为K0=54.3±3.2GPa(当K’0=4.0时)。

  • 标签: 碳纳米管 X射线衍射 同步辐射 结构
  • 简介:在经过二十多年的停滞乃至衰退后,世界核电工业近年来出现了明显复苏,而且将继续加速发展。无论是在过去的核电发展历程中,还是在今后相当长的一段时期内,水冷堆在世界核电领域都扮演着主要角色。世界上主流的水冷堆主要包括:ABWR、ESBWR、AP1000、EPR、APWR、VVER、CANDU等,其中ABWR和ESBWR属于沸水堆,其它的都是压水堆。现将这七款堆的发展情况概括介绍如下。1ABWR先进沸水堆(ABWR)是在世界范围内沸水堆(BWR)设计和多年运行经验基础上发展起来的第3代先进堆,是目前世界上已获得US-NRC设计证书(1994年获得NRC的最终设计批准FDA)的最先进及最成熟的

  • 标签: 发展情况 核电站 压水堆 机组 反应堆 水冷堆
  • 简介:简要介绍了我国核安全法规的来历和发展现状,分析了现行核安全法规存在的不足。同时介绍了风险指引安全管理方法的发展、现状以及所取得的成就,说明风险指引是核安全法规未来改进的方向。结合美国正在进行的构建风险指引核安全法规体系的发展计划,讨论了新法规体系的原则及其特点。最后根据现实情况,就我国推行风险指引安全管理和构建风险指引核安全法规体系,提出了一些建议。

  • 标签: 风险指引 安全管理 核安全法规
  • 简介:在同步辐射软X光能区(50-2000eV)进行了硅光电二极的自标定实验,因为消除了二极的“死区”并采用很薄层的SiO2作窗,使得可以用简单的模型来分析实验结果,由实验测得的光电流,计算出硅光电二极的量子效率,并求得入射同步辐射的光通量。

  • 标签: 同步辐射 硅光电二极管 自标定 量子效率 工作原理 气通量
  • 简介:通过原位担载法将铁系催化剂担载于煤表面,考察了催化剂前驱体的相态、配位环境以及在载体表面的分散状态。采用X射线吸收精细结构和X射线衍射法对原位担载铁系催化剂前驱体进行了表征。结果表明,催化剂前驱体在煤表面以非晶态、高分散的形式存在,其化学组成主要为FeOOH,且催化剂前驱体的分散程度与载体煤的物理化学性质有关。

  • 标签: 表征 硫化铁 原位担载 催化剂 前驱体 煤液化
  • 简介:裂变产物是一回路冷却剂中放射性核素的重要组成部分,在压水堆核电厂的运行过程中,需对一回路冷却剂进行放射性测量,并根据其中的裂变产物活度监控燃料组件的运行状态。本文通过对比分析RELWWER程序的计算结果和WWER核电厂一回路冷却剂裂变产物比活度的实测数据,给出了初步判断堆芯中燃料棒的破损情况的方法,可为停堆换料方案的制定提供参考。

  • 标签: WWER反应堆 RELWWER程序 实测数据 燃料棒破损
  • 简介:用XPS和PES研究了钙肽矿氧化物BaTiO3薄膜和La1-xSnxMnO3薄膜的电子结构。特别地,我们采用角分辨X-射线光电子谱技术(ARXPS),研究了薄膜表面最顶层原子种类和排列状况。结果表明,BaTiO3薄膜表面最顶层TiO2原子平面,La1-xSnxMnO3薄膜的表面最顶层为MnO2原子平面。在此基础上,我们进一步在原子水平上探讨了薄膜的层状外延生长机理。

  • 标签: 钙钛矿型氧化物薄膜 电子结构 XPS BATIO3 La1-xSnxMnO3 外延生长
  • 简介:Moleculardynamicssimulationswereperformedtostudytheinteractionbetweenatomichydrogenandsiliconcarbide.Inthepresentstudy,wefocusontheeffectofthesurfacetemperatureonHinteractingwithsiliconcarbide.ThesimulationresultsshowthattheretentionofHatomsinthesampledecreaseslinearlywithincreasingsurfacetemperature.ThedepthprofileanalysisshowsthatthesampleismodifiedbyHbombardment,andthedensityofHatomsisgreaterthanthoseofSiandCatomsneartheinterfaceregionbetweentheH-containingregionandthebulk.However,nearthesurfaceregionthedensitiesofH,SiandCatomsarealmostequivalent.Inthemodifiedlayer,thebondsconsistofSi-CandSi-HandC-H.ThefractionofSi-Cbondsisthegreatest.OnlyafewC-Hbondsarepresent.

  • 标签: 相互作用 SIC 温度效应 分子动力学模拟 MD 表面温度
  • 简介:Ahighlyreliableinterfaceofself-alignedbarrierCuSiNthinlayerbetweentheCufilmandthenano-porousSiC:H(p-SiC:H)cappingbarrier(k=3.3)hasbeendevelopedinthepresentwork.Withtheintroductionofself-alignedbarrier(SAB)CuSiNbetweenaCufilmandap-SiC:Hcappingbarrier,theinterfacialthermalstabilityandtheadhesionoftheCu/p-SiC:Hfilmareconsiderablyenhanced.AsignificantimprovementofadhesionstrengthandthermalstabilityofCu/p-SiC:H/SiOC:Hfilmstackhasbeenachievedbyoptimizingthepre-cleanstepbeforecap-layerdepositionandbyformingtheCuSiN-likephase.ThiscaplayeronthesurfaceoftheCucanprovideamorecohesiveinterfaceandeffectivelysuppressCuatommigrationaswell.

  • 标签: 界面粘结强度 热稳定性 SIOC 膜表面 等离子体处理 堆栈
  • 简介:X射线计量标准的建立和软X射线探测器标定是目前国内急需解决的课题,本文简单介绍了两套北京同步辐射软X射线装置,它们主要用于软X射线光学元件测量和软X射线探测元、器件的标定。另外给出了近年来在软X射线测量装置上开展的计量标准和探测器标定方面的研究结果。

  • 标签: 北京同步辐射软X射线装置 软X射线探测器 标定 软X射线 计量