电真空器件的气密性检测

李建波

摘要：随着经济的不断发展，社会各个领域都出现了新的发展，对各种设备的性能提出了更高的要求。作为工业生产中的重要设备，电真空器件在提高生产效率和质量方面发挥着重要作用。但是，由于各种因素的影响，电真空器件可能发生漏气，直接影响到企业的可持续发展。为了保证设备在生产过程中的最大性能，需要对设备的气密性进行测试，以了解和控制设备的气密性。因此，加强电真空器件气密性检测研究十分重要。在此基础上，本文对电真空器件气密性检测应采取的防范措施进行分析研究，提出电真空器件气密性检测的具体流程，为我国相关领域的健康发展提供支持和借鉴。

关键词：电真空器件；气密性检测；氨罩法；喷吹法

前言

真空气密性是影响微波管性能和寿命的主要因素之一，因此真空泄漏试验是确保电真空器件可靠性的重要过程。检漏技术是用来保证元器件或系统的密闭性可以满足某种标准的一种方法。电真空器件的特性和泄漏率要求决定了氦质谱是检测其密度的主要泄漏检测方法。由于可量化的泄漏率、高度敏感性、速度、使用安全和广泛的应用，氦质谱检测技术已广泛应用于航空、航天、汽车和电力部门。当总泄漏率超过允许值时，将使用喷吹方式精确定位泄漏孔。目前，几乎没有关于在电真空器件的氦质谱中系统研究泄漏检测技术的文件。

一、电真空器件气密性检验注意事项

(1)温度。温度变化是影响真空气密性检测的一个重要因素，直接影响泄漏率。当温度变化时，泄漏气体的几何尺寸和特性必然受到影响，从而影响泄漏率。通常，在检查过程中，需要确保零件的温度与气体的温度相符，并且检查工作是准确的。(2)清洁度。在检查过程中，受控设备连接到辅助模具、泄漏检测器等，通常由酒精、真空封泥、橡胶圈等气密性辅材，如果不进行清理，可能会成为放气源并影响设备性能。在这一阶段，一旦发现泄漏，必须仔细清理，然后再将其应用于生产过程。(3)材料吸附。与普通装置不同，电子管、阀门等电真空器件都有自己的吸入特性。泄漏检测过程中吸入质谱仪可能造成污染，如表层沉积物，使氨水含量过高，使设备难以使用。因此，在检查后，应该去除氨水在气密性性检查中，设备只能在遵守相应原则的情况下发挥积极作用。

二、氦检漏前的准备

1.环境要求

最佳工作温度:15 ~ 30℃，湿度≤70 rh。泄漏检测环境应清洁通风(去除空气中的氦含量，氦浓度过高，仪器产生的氦信号不稳定)，气流应稳定，无强电磁干扰和振动。场地应配备温度、湿度和大气压力监测装置。

2.抽气口检漏台

根据电真空器件的结构特点和负荷要求，设计了一个处理良好的泄漏检测平台，并与泄漏检测器附带的泄漏检测孔连接。要检查的零件可用气密性件装入泄漏检测平台3，检测孔1用橡胶塞气密性，通过检测孔2抽真空后即可进行泄漏检测。对于重量过大的零件或特殊结构不能放在泄漏检测平台上的少数零件，可通过泄漏检测1检测其气密性。换句话说，真空管用于将泄漏检测孔1连接到受控部件，泄漏检测孔2由盲板或橡胶塞气密性。泄漏检测器可以检测被检查项目在抽真空后的泄漏情况。设计的检测和泄漏平台的载荷能力小于或等于30k g，通过将不同尺寸的零件与不同尺寸和形状的气密性模具相结合，实现真空气密性检测。

3.仪器校准和灵敏度测试

GB/T13979要求对仪器进行校准，校准后的泄漏孔定期送至测量装置进行校准，试验周期不得超过两年。ASM192T2螺旋质谱仪的缺省内部自动校准已启用。因此，泄漏检测器打开时会自动校准如果校准失败，需要检查原因并解决问题如果发现泄漏检测器在使用过程中反应能力较弱，则需要及时进行校准。但是，如果重新校准后最低可探测泄漏率提高到最低可探测泄漏率的65%以上，或者正常调整后的数值仍然低于校准泄漏孔的标称值，则探测器的灵敏度会降低。由于泄漏率很低，应清理、修理或重新校准探测器。

4.被检件与检漏模具

在检查泄漏之前，应清除待检查零件表面的污物和杂质，并在高温下将其清除，以免泄漏孔被污物、油、有机溶剂等堵塞，漏电感测器的泵和管道不会受到污染，从而避免了零件泄漏对漏电感测结果的影响。必须避免模具泄漏变形，保持模具干燥干净。

三、电真空器件气密度检验具体流程

1.氨气检漏法

空测量的容器或加压气密性装置(不需要真空，但效果稍低)，在容器壁或气密性元件外放置带有氨敏感pH指标的示踪剂带，然后装入氨水一旦泄漏，氨水就会泄漏，从而改变探测带的颜色。这样可以根据色调时间和着色区域的大小确定泄漏位置并估计泄漏位置。氨水泄漏检测方法的灵敏度与氨气负荷压力、指示器灵敏度和暴露时间有关。当泄漏率保持不变时，检测点的大小与所使用的指标、接触时间和氨压力有关。

2.氦罩法测总漏率

氦气防护是指将受测部件的全部或部分外表面连接到检测装置并抽真空以达到氦检测状态时，将其包围起来。在检查壳体内的氦气负荷时，空气被排出，然后充氦气，使壳体内的氦浓度尽可能接近100%。如果检查的零件中有泄漏，检测器将更改泄漏率并显示泄漏率。氦保护时间还必须是泄漏检测器响应时间的3至5倍。质谱仪对ASM192T2的响应时间小于0.5秒，从而使氦的屏蔽时间为30秒。氦气防护法可以快速测量被测试部件的整体泄漏率，而没有检测到泄漏点，但无法确定泄漏点的位置。

3.喷吹法

喷吹主要是将检测到的设备与仪器的真空系统相结合，对疑似泄漏位置进行喷吹和抛射，如果泄漏，用质谱仪检测气体泄漏。这种方法在很大程度上弥补了氨掩模法的缺陷。这两种方法的有机结合不仅可以提高检查的准确性，而且可以提高检查的效率。由于喷吹时间影响检查效果，喷吹时间必须根据结构特征、体积等合理确定。被控制的设备。一般而言，用于泄漏的喷吹时间是泄漏检测器响应时间的三至五倍，以确保氨水浓度符合标准；对于简单的盲孔，通常只需检查3次即可。

4.复杂结构检验

由于包括一些结构复杂的装置在内的各种各样的电真空器件以及各种电路之间的相互连接，测试难度要大得多。对于这类设备的气体密度控制，我们可以进行分级控制。首先，清空回路1并向回路2注入氨水，以查找两个通道的相同曲面。然后，在回路1的开口端交替喷吹酒精，以防止空气流动将酒精传播到其他位置。在现阶段，有必要加强监测真空和泄漏率的变化。当液面达到标准位置时，它可以判断泄漏位置，对泄漏位置进行局部切割，进行深入分析，了解和控制泄漏的性质和原因，支持制定科学合理的修复计划，提高设备的气密性度，为设备的良好运行奠定坚实的基础。

5.复杂漏孔定位问题

电真空器件，如加速管中有许多孔类型，包括具有复杂截面的三维布管。泄漏的原因有多种，如法兰密封、焊接质量、材料等，其中涂层和母材组合不当造成的渗漏更为复杂，可能存在渗漏、微孔泄漏、虚漏等多种泄漏方式因此，在进行检查之前，有必要加强对设备结构等特点的了解，掌握设备特点，尽量减少检查难度，提高检查效果和质量。

结束语

简而言之，电真空器件作为一种重要设备，在社会各个领域的发展中发挥着重要作用。因此，为了确保电真空器件在使用中发挥积极作用，有必要加强装置的气密性试验，选择合理的试验方法和方法，调节温度和湿度，加强试验仪器灵敏度试验，以便提高检验质量和效率。

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