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在高密度互连中应用的超薄型铜箔
在高密度互连中应用的超薄型铜箔
(整期优先)网络出版时间:2006-04-14
作者:
张洪文(编译)
电子电信
>微电子学与固体电子学
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资料简介
介绍了一种超薄型铜箔商品的制法、结构、性能与应用情况。
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