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台积电积极布局28纳米制程

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摘要台积电近日正在加快28纳米以下制程布建步伐，位于中科园区的晶圆15厂第三暨第四期厂房，将同时兴建，预计2013年完工，这二座新厂，未来将成为台积电跨足20纳米制程主要生产重心。

DOI lde1w26zj3/1103017

作者

机构地区不详

出处《中国集成电路》 2012年1期

关键词纳米制程电积台积电晶圆

分类 [电子电信][微电子学与固体电子学]

出版日期 2012年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国集成电路

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