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16 个结果
  • 简介:ThisworkinvestigatedC2F6/O2/ArplasmachemistryanditseffectontheetchingcharacteristicsofSiCOHlow-kdielectricsin60MHz/2MHzdual-frequencycapacitivelycoupleddischarge.FortheC2F6/Arplasma,theincreaseinthelow-frequency(LF)powerledtoanincreasedionimpact,promptingthedissociationofC2F6withhigherreactionenergy.Asaresult,fluorocarbonradicalswithahighF/Cratiodecreased.Theincreaseinthedischargepressureledtoadecreaseintheelectrontemperature,resultinginthedecreaseofC2F6dissociation.FortheC2F6/O2/Arplasma,theincreaseintheLFpowerpromptedthereactionbetweenO2andC2F6,resultingintheeliminationofCF3andCF2radicals,andtheproductionofanF-richplasmaenvironment.TheF-richplasmaimprovedtheetchingcharacteristicsofSiCOHlow-kfilms,leadingtoahighetchingrateandasmoothetchedsurface.

  • 标签: 等离子体化学 放电特性 蚀刻 薄膜 双频率 功率LED
  • 简介:Moleculardynamics(MD)simulationswereperformedtoinvestigateF+continuouslybombardingSiCsurfaceswithenergiesof100eVatdifferentincidentanglesat300K.Thesimulatedresultsshowthatthesteady-stateuptakeofFatomsincreaseswithincreasingincidentangle.Withthesteady-stateetchingestablished,aSi-C-Freactivelayerisformed.ItisfoundthattheetchingyieldofSiisgreaterthanthatofC.IntheF-containingreactionlayer,theSiFspeciesisdominantwithincidentangleslessthan30o.Forallincidentangles,theCFspeciesisdominantoverCF2andCF3.

  • 标签: 碳化硅 蚀刻 MD 入射角度 分子动力学 稳定状态
  • 简介:本文通过对三聚氰胺(C3N6H6)的室温高压原位同步辐射能量散射x-ray衍射实验(EDXRD),在14.7GPa压力范围内,观察到常压下为单斜晶系的三聚氰胺经历了两次压致结构相变。在1.3GPa下,三聚氰胺分子晶体从单斜相转变为三斜相;在8.2GPa又转变为正交相。

  • 标签: 三聚氰胺 C3N6H6 压制结构 相变 EDXRD 单斜晶系
  • 简介:重点研究了NUREG-1860中推荐的F—C曲线,阐述了建立该曲线的考虑,详细说明了F—C曲线中的频率和后果限值的确定方法,简要对比了下一代核电厂(NGNP)使用的F—C曲线和英国健康和安全委员会(HSE)推荐的F—C曲线,论述了如何使用F—c曲线确定许可基准事件(LBE)使其满足监管限值和监管要求,同时,给出了对我国风险指引型监管技术研究的建议。

  • 标签: F-C曲线 风险指引型监管 LBE 概率风险评价
  • 简介:Anewtwo-dimensionalstructuremodulationalongc-andb-axeshasbeendiscoveredinsuperconductingsinglecrystalsofBi2.13Sr1.87CuO6+δ(Bi2201)byx-rayscattering.Suchmodulationstructuredoesnotexistinnon-superconductingBi2201singlecrystals.Butinsteadlatticedistortionsareobservedinthea-b-plane.Thisphenomenonmayindicatethatbothstrainrelaxationandchargemodulationinthea-b-planeareimportanttotheoccurrenceofsuperconductivityinthecopperoxides.

  • 标签: 超导体 调制结构 实验观测
  • 简介:可靠性是当今人们对所使用的产品密切关注的问题,可靠性指标与产品性能指标同等重要。本文从锆复合板的特性出发,通过对锆复合板容器焊缝连接装置存在的故障进行分析,确立了一套合理可靠的复合板焊缝连接结构,并对各结构进行了一系列可靠性检测试验,确保了锆复合板容器在使用过程中的安全可靠性。

  • 标签: 锆钢复合板 焊缝 可靠性
  • 简介:本文利用同步辐射角分辨光电子谱研究了f.c.c.Fe与Cu{111}之间的界面。观察到了位于表面布里渊区中K点附近的界面态,表明它是一个有序的界面。垂直出射的价带谱表明外来Fe原子对衬底Cu{111}的能带结构无任何影响。这与互混的Co/Cu{111}的结果不同,表明界面处不存在Fe与Cu原子之间的互混。

  • 标签: 角分辨光电子谱 f.c.c.Fe/Cu{111} 界面 磁控溅射
  • 简介:压力管卧式重水反应堆(CANDU6)具有相互独立的冷却剂系统和慢化剂系统。慢化剂系统将堆芯高能裂变中子慢化到能维持持续裂变所需的热中子水平,并将慢化中子过程中产生的热量带出。在反应堆大修期间,需要对再循环冷却水系统(RCW)进行检修,则需要并投入其备用系统,但是RCW备用系统仅对反应堆冷却剂系统进行冷却,不提供慢化剂系统热交换器冷却水。所以在RCW备用系统投入的情况下,慢化剂系统丧失冷却。为判断在此情况下慢化剂的温度变化情况,本文对CANDU6大修期间慢化剂系统丧失冷却情况下的温度变化进行分析并与试验结果进行比较,评估是否会由于温度过高而导致系统失效。

  • 标签: 慢化剂系统 热负荷 换热系数 温升
  • 简介:Thisworkinvestigatesinternalplasmaprocessparametersusingahairpinresonanceprobeandopticalemissionspectroscopy.ThedependenceofelectrondensityandatomicfluorineonthepercentageofoxygeninanSF6/O2dischargewasmeasuredusingthesemethods.AnRIEOxfordInstruments80pluschamberwasusedfortheexperiments.Twodifferentprocesspowers(100Wand300W)ataconstantpressure(100mTorr)wereused,anditwasfoundthattheopticalemissionintensityofthe703.7nmand685.6nmlinesofatomicfluorineincreasedrapidlyasoxygenwasaddedtotheSF6discharge,reachedtheirmaximumatanO2fractionof20%andthendecreasedwithfurtheradditionofoxygen.TheplasmaelectrondensitywasalsostronglyinfluencedbytheadditionofO2.

  • 标签: 等离子体发射 电子密度 光谱测量 蚀刻工艺 工艺参数 发射光谱
  • 简介:该文献提供了对遭受外部流体静力学的试验压力负荷的压力壳使用应变测量有关的信息和指导。该文献给出了应变测量遭受外部压力载荷的压力容器的两个例子。出版商:ASME发布日期:2013页数:40语言:英语ISBN:9780791869024。

  • 标签: 应变测量 压力容器 力负荷 指南 标准 流体静力学
  • 简介:能源行业核电标准化技术委员会秘书处于2014年8月12日-15日在北京主持召开了核电标准审查会,对能源行业核电标准《核电厂核岛机械设备无损检测另一规范》(6个部分)的送审稿进行了审查。

  • 标签: 标准审查会 能源行业 无损检测 机械设备 核电厂 核岛
  • 简介:各有关单位:现将《低、中水平放射性固体废物包装容器桶》等两项强制性行业标准和《铀矿资源评价方法——矿床模型法》等十五项推荐性行业标准予以颁布,自1997年2月1日起实施,标准文本由核工业标准化研究所负责出版发行。

  • 标签: 放射性固体废物 行业标准 包装容器 钢桶 矿床模型法 评价方法
  • 简介:根据国务院颁布的《民用核安全设备监督管理条例》,以及国家核安全局发布的与之配套的管理规章,在核电厂安全壳衬里制作安装和无损检验方面,结合作者所在公司的实际情况,在原《民用核承压设备安全监督管理规定》及其实施细则的基础上,针对变化较大和重要的方面,提出了现《民用核安全设备监督管理条例》及其配套规章实施的要点,帮助同行深刻理解和全面实施《条例》和配套规章。

  • 标签: 核安全设备 钢衬里 条例 实施