简介：【摘 要】： 多晶硅是半导体行业和太阳能电池产业的主要生产原料，在进行生产工作的过程中，通常采用改良西门子法，整体生产工艺还在不断研究完善中，从国内的发展情况来看，通常依靠进口原料进行多晶硅产业的生产工作，但是随着我国多晶硅的生产需求越发增加，传统工作模式下所使用的多晶硅制作方式，也较难以解决当前阶段的生产需求。在生产多晶硅物质的过程中，会出现大量的中间产物，比如四氯化硅，二氯二氢硅等。在开展生产工作的过程中，如果有效 地 进行中间产物的回收利用工作，那么会导致整体效益降低。在开展多晶硅生产的过程中，如果不进行中间产物的分析和利用工作，那么就放弃了获得更大经济效益的发展途径。因此多晶硅中间产物的回收利用工艺有更大程度的发展潜力。本文主要进行中间产物生产情况的介绍工作，了解中间产物的主要来源和造成危害，同时分析中间产物的利用情况，其中主要进行四氯化硅回收利用的分析工作，旨在为多晶硅生产行业提供具有总结价值的参考依据。
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