简介:摘要近些年,随着科学技术水平的不断提高,半导体行业这个十分依赖于科学技术水平的行业也快速的在国内外发展起来。压阻式硅压力传感器作为当前半导体行业内一个极具发展潜力的新兴技术,它在制造更是日渐趋于成熟,加工工艺也更加的先进。压阻式硅压力传感器由于其有着其他传感器难以比拟的优点而备受欢迎。压阻式硅压力传感器的体积小、质量轻、成本低但是却具有高度的灵敏性和稳定性,并且便于集成化,能够广泛的应用在有关压力、流速、加速度等数据的测量上,也因此其在化工、水利、气象、医疗等众多的领域都得到应用。尽管压阻式硅压力传感器有着许许多多的优点,但是由于温度对导体材料的影响,有时会使得压力传感器的测量值并不符合实际,测量结果不准确对传感器来说无疑是致命的弱点,因此,本文将简要谈谈基于嵌入式系统的压力传感器的温度补偿研究。
简介:基于微喷三维打印机制造压力传感器,用于可穿戴的个人导航系统中。在基底表面不规则或者使用中经常被折弯的情况下,微喷打印工艺制备的MEMS器件精度更高,性能更好。研究了器件的可打印模型和工艺,给出压力传感器可打印的分层物理结构;研究了平面结构投影到三维基底上的投影空间,基于Terzopoulos弹性模型使用材料弹性度和结构弹性度模型给出投影空间;使用射线投影NURBS曲线来拟合边界轮廓,给出分层切片模型。为验证打印PZT膜的压电性能以及设计的压力传感器件的功能,使用不同的机械负荷测试其刚度,使用不同的直流偏置来测试耗损因数、品质因数等。通过比较实验对象的测量值和理论预测值之间的关系可以看出,打印的压力传感器薄膜具有很好的机械和电气性能。
简介:静冰压力是影响水工结构物安全运行的主要因素之一。现有静冰压力检测方法主要存在两个局限,一是实时性差,二是传统电阻应变式压力膜盒传感器因边壁效应影响测量结果的正确性。针对以上两个不足之处,作者基于反射式强度调制原理,研发了一种带杆伞状圆盘结构的压力膜盒静冰压力光纤传感器,实现了利用光纤传感技术检测静冰压力。我们用研制的新型光纤传感器在实验室完成了-30℃~5℃温度范围内冰生长过程中及5℃~-30℃温度范围内冰消融过程中静冰压力的测量试验。实验结果表明,与传统电阻应变式压力膜盒传感器相比,该传感器工作稳定、分辨率达0.02kPa、灵敏度达2.74×10-4/l(Pa,并可实现自动连续测量。
简介:静冰压力是影响水工结构物安全运行的主要因素之一。现有静冰压力检测方法主要存在两个局限,一是实时性差,二是传统电阻应变式压力膜盒传感器因边壁效应影响测量结果的正确性。针对以上两个不足之处,作者基于反射式强度调制原理,研发了一种带杆伞状圆盘结构的压力膜盒静冰压力光纤传感器,实现了利用光纤传感技术检测静冰压力。我们用研制的新型光纤传感器在实验室完成了-30℃~5℃温度范围内冰生长过程中及5℃~-30℃温度范围内冰消融过程中静冰压力的测量试验。实验结果表明,与传统电阻应变式压力膜盒传感器相比,该传感器工作稳定、分辨率达0.02kPa、灵敏度达2.74×10-4/kPa,并可实现自动连续测量。更多还原
简介:摘要本文笔者根据自己的工作经验,阐述了汽车传感器常见故障,分析了汽车传感器的故障诊断方式,具有重要的现实意义。