学科分类
/ 1
1 个结果
  • 简介:为使用大面积均匀分布的球掩模制作纳米柱LED,对胶体球单层薄膜的自组装技术进行了研究。采用旋涂法、滴定法和气液界面法,对2μm和455nm两种粒径的胶体球进行自组装实验,并使用扫描电子显微镜进行观察和比较,分析了三种方法的优缺点。实验结果表明,旋涂法在制备过程中容易出现多层堆积现象;滴定法容易形成单层薄膜,但胶体球较为稀疏;气液界面法可以实现较大面积的单层薄膜,胶体球均匀分布,而且适用于各种基片,是一种简单有效的自组装方法。优选气液界面法,在GaN基LED外延片上制备了均匀分布的纳米柱结构,验证了这种方法用于纳米柱LED芯片制备的可行性。

  • 标签: 胶体微球 自组装技术 气液界面法 纳米柱LED 微球掩膜