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  • 简介:ThisworkinvestigatedC2F6/O2/ArplasmachemistryanditseffectontheetchingcharacteristicsofSiCOHlow-kdielectricsin60MHz/2MHzdual-frequencycapacitivelycoupleddischarge.FortheC2F6/Arplasma,theincreaseinthelow-frequency(LF)powerledtoanincreasedionimpact,promptingthedissociationofC2F6withhigherreactionenergy.Asaresult,fluorocarbonradicalswithahighF/Cratiodecreased.Theincreaseinthedischargepressureledtoadecreaseintheelectrontemperature,resultinginthedecreaseofC2F6dissociation.FortheC2F6/O2/Arplasma,theincreaseintheLFpowerpromptedthereactionbetweenO2andC2F6,resultingintheeliminationofCF3andCF2radicals,andtheproductionofanF-richplasmaenvironment.TheF-richplasmaimprovedtheetchingcharacteristicsofSiCOHlow-kfilms,leadingtoahighetchingrateandasmoothetchedsurface.

  • 标签: 等离子体化学 放电特性 蚀刻 薄膜 双频率 功率LED
  • 简介:本文通过对三聚氰胺(C3N6H6)室温高压原位同步辐射能量散射x-ray衍射实验(EDXRD),在14.7GPa压力范围内,观察到常压下为单斜晶系三聚氰胺经历了两次压致结构相变。在1.3GPa下,三聚氰胺分子晶体从单斜相转变为三斜相;在8.2GPa又转变为正交相。

  • 标签: 三聚氰胺 C3N6H6 压制结构 相变 EDXRD 单斜晶系
  • 简介:根据199牛年标准、计量、质量工作重点,本刊拟就以下几点作重点报导,欢迎广大读者踊跃投稿。1.贯彻国家方针、政策、法令、法规做法与经验;2.标准化在科研、设计、生产中社会效益和经济效益实例分析;3.已制定标准在各单位实施情况调查分析;4.重要标准编制说明;

  • 标签: 编制说明 质量工作 工业产品质量 国内外标准 国家方针 专题介绍
  • 简介:Thisworkinvestigatesinternalplasmaprocessparametersusingahairpinresonanceprobeandopticalemissionspectroscopy.ThedependenceofelectrondensityandatomicfluorineonthepercentageofoxygeninanSF6/O2dischargewasmeasuredusingthesemethods.AnRIEOxfordInstruments80pluschamberwasusedfortheexperiments.Twodifferentprocesspowers(100Wand300W)ataconstantpressure(100mTorr)wereused,anditwasfoundthattheopticalemissionintensityofthe703.7nmand685.6nmlinesofatomicfluorineincreasedrapidlyasoxygenwasaddedtotheSF6discharge,reachedtheirmaximumatanO2fractionof20%andthendecreasedwithfurtheradditionofoxygen.TheplasmaelectrondensitywasalsostronglyinfluencedbytheadditionofO2.

  • 标签: 等离子体发射 电子密度 光谱测量 蚀刻工艺 工艺参数 发射光谱
  • 简介:《核安全》杂志是国内核安全领域唯一科技期刊。在有关领导和广大核领域科技工作者关心与支持下,《核安全》杂志通过了多项国家级综合学术评定,入选2014《中国学术期刊影响因子年报》统计源期刊,并被中国知网评为2013度核领域科技期刊“技术研究类影响因子”第1名、“期刊复合影响因子”第4名、“期刊综合影响因子”第5名。因此,《核安全》杂志在国内外核安全领域知名度和影响力大大提升。

  • 标签: 核安全 论文评选 科技期刊 影响因子 学术期刊 科技工作者
  • 简介:《核安全》杂志是国内核安全领域唯一科技期刊。在有关领导和广大核领域科技工作者关心与支持下,《核安全》杂志通过了多项国家级综合学术评定,入选2014《中国学术期刊影响因子年报》统计源期刊,并被中国知网评为2013度核领域科技期刊“技术研究类影响因子”第1名、“期刊复合影响因子”第4名、“期刊综合影响因子”第5名。

  • 标签: 核安全 论文评选 科技期刊 影响因子 学术期刊 科技工作者
  • 简介:从事故背景、过程、放射病理学、调查结果、结论和经验教训等方面对2000泰国北揽府医用60^co源辐射事故进行了介绍。该辐射事故实践表明:医疗设备供应商未获得行政许可接收闲置放射源,并擅自转运、储存于无安全保卫措施仓库,监督检查和执法工作弱化,是事故发生主要原因。科学、有效辐射应急计划,训练有素、装备精良应急响应队伍,创新措施和方法,在复杂地点快速回收放射源并对受照人员开展合适、充分、有保障医疗救助提供了保障。本文可为辐射事故应急提供借鉴和参考。

  • 标签: 医用 60^co源 辐射事故 许可 放射源 废品
  • 简介:Anewtwo-dimensionalstructuremodulationalongc-andb-axeshasbeendiscoveredinsuperconductingsinglecrystalsofBi2.13Sr1.87CuO6+δ(Bi2201)byx-rayscattering.Suchmodulationstructuredoesnotexistinnon-superconductingBi2201singlecrystals.Butinsteadlatticedistortionsareobservedinthea-b-plane.Thisphenomenonmayindicatethatbothstrainrelaxationandchargemodulationinthea-b-planeareimportanttotheoccurrenceofsuperconductivityinthecopperoxides.

  • 标签: 超导体 调制结构 实验观测
  • 简介:压力管卧式重水反应堆(CANDU6)具有相互独立冷却剂系统和慢化剂系统。慢化剂系统将堆芯高能裂变中子慢化到能维持持续裂变所需热中子水平,并将慢化中子过程中产生热量带出。在反应堆大修期间,需要对再循环冷却水系统(RCW)进行检修,则需要并投入其备用系统,但是RCW备用系统仅对反应堆冷却剂系统进行冷却,不提供慢化剂系统热交换器冷却水。所以在RCW备用系统投入情况下,慢化剂系统丧失冷却。判断在此情况下慢化剂温度变化情况,本文对CANDU6大修期间慢化剂系统丧失冷却情况下温度变化进行分析并与试验结果进行比较,评估是否会由于温度过高而导致系统失效。

  • 标签: 慢化剂系统 热负荷 换热系数 温升
  • 简介:该文献提供了对遭受外部流体静力学试验压力负荷压力壳使用应变测量有关信息和指导。该文献给出了应变测量遭受外部压力载荷压力容器两个例子。出版商:ASME发布日期:2013页数:40语言:英语ISBN:9780791869024。

  • 标签: 应变测量 压力容器 力负荷 指南 标准 流体静力学
  • 简介:本文以国内某核电厂CPR1000,阐述了18个换料对CPR1000反应堆压力容器辐照监督试验、辐照监督大纲等影响,并对18个换料模式下辐照监督提出了改进建议。

  • 标签: 18个月换料 CPR1000 反应堆压力容器 辐照监督
  • 简介:新一代专用设备中,作为其关键结构材料7A60铝合金使用温度可能会提高到T1,为了研究升高温度对铝合金材料寿命影响,开展了T2(T2>T1)温度下铝合金材料持久强度试验,蠕变试验以及断裂机理分析研究,得出以下结论:(1)T2温度下铝合金材料10持久强度σ1T20(99%)=(1.58±0.17)σ0MPa;(2)在温度T2,总变形量1.5%时,7A60铝合金材料10蠕变极限为:σ1T2.5%(10)=1.51σ0MPa;(3)随着使用温度从T0升高到T2,铝合金材料10持久强度和蠕变极限分别降低了18%和12.2%,降到1.41σ0和1.51σ0;(4)在温度T2,不同应力水平下,铝合金材料断裂机理相同,均在断口中部呈现台阶状裂纹扩展区域。

  • 标签: 温度 持久强度 蠕变极限 寿命