简介：本文介绍了超临界流体及其特性、超临界流体清洗工艺及特点.结合现有的研究结果,论述了在微电子加工中应用超临界流体的可行性和有效性.并以硅片的清洗和干燥为例,说明了超临界CO2的应用优势,指出了超临界流体在微电子技术中尚需要解决的技术问题及其广阔的应用前景.
简介：近日，天戚保变传来喜讯，由该公司自主研发设计，具有完全自主知识产权的国内首台三相SFP-1140MVA／500kV电力变压器在天威保变（秦皇岛）变压器有限公司一次顺利通过全部试验项目考核，主要技术性能指标达到国际领先水平。本台变压器是我国第一台配套1000MW超超临界发电机组的三相一体主变压器，也是迄今为止国内容量最大的500kV级变压器，
超临界流体在微电子器件清洗中的应用
我国首台配套百万级超超临界机组变压器问世
