简介：介绍了一种基于偏振光干涉的直线度测量系统,该系统由固定部分和活动部分组成。测量时,活动部分固定在被测要素上。被测要素的直线度变化将导致两线偏振光相位的变化。通过计量干涉条纹即可得到直线度的变化结果。实验显示本测量系统具有10nm的分辨率,在20mm的测量范围内误差≤0.5μm,提高了分辨率和测量精度。
简介：变焦系统凸轮曲线设计是变焦系统后期设计过程中十分重要的环节，曲线设计的好坏直接关系到系统像面的稳定程度。针对ZEMAX光学设计软件界面编写了三组元变焦系统凸轮曲线设计程序，确保像面稳定、像质优良。程序可准确给出凸轮曲线的数据和形状，借助该程序对变焦系统任意焦距位置的光学性能和像差特性进行实时评估，提高了变焦系统的设计效率和精度，对变焦系统的前期和后期设计有指导意义。
一种基于偏振光干涉的直线度测量系统
基于ZEMAX软件的三组元变焦系统凸轮曲线设计程序
