简介:建立了复合铁电薄膜的理论模型,具有不同相变温度的铁电组分垂直于极化方向进行复合,引入局域分布函数描述不同组分间过渡层的性质,采用Ginzburg-Landau-Devonshire(GLDI)唯象理论展开研究。通过改变复合铁电薄膜的组分数量(2种和3种),主要研究了复合铁电薄膜的极化、相变及热释电性质,并与均匀铁电薄膜的相关性质进行对比。研究表明组分数量的变化对铁电薄膜的相变和热释电性质有着重要的影响。2组分复合而成的铁电薄膜与均匀铁电薄膜一样都只出现1个热释电峰,而3组分复合而成的铁电薄膜随着温度的变化出现了2个热释电峰。2组分薄膜的热释电峰和3组分薄膜中的1个热释电峰峰值较均匀铁电薄膜的热释电峰的峰值有所升高。
简介:分析了制备和热处理过程中薄膜沉积方法和沉积条件、沉积速率、薄膜厚度、热处理方法和热处理条件等因素对β-FeSi2相的形成的影响,结果表明,影响β-FeSi2相形成的决定性因素是热处理的温度和时间,此外薄膜的沉积方法和薄膜厚度对β-FeSi2相也有重要的影响。