简介：文章讨论了几种薄膜残余应力测试方法的优缺点，介绍了氮化物薄膜应力沿层深分布趋势的最新研究，偏压和N2分压工艺对薄膜应力的影响及几种调节薄膜残余应力的有效方法．脉冲偏压增大，薄膜残余应力显著增加：N2分压增大，薄膜残余应力显著增加．采用独立变化脉冲偏压或变化N2分压工艺制备的薄膜，其残余应力沿层深分布趋势明显均匀，薄膜残余应力可得到有效调整．
简介：本文从、、的理论出发,针对具体矿区建立了含向斜构造的原岩应力和巷道围岩应力的力学模型并给出数值模拟结果.
氮化物硬质薄膜残余应力的研究进展
原岩应力及巷道围岩应力的计算机数值模拟
