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  • 简介:光刻胶剖面形貌和关键尺寸(CD)是光刻工艺的关键参数,而实际光刻工艺中受到前层次图形的影响,尤其是后端布线工艺受到前面工序高低台阶影响十分严重。文章基于光学干涉原理及King的胶厚理论模型和光刻胶SwingCurve曲线研究了光刻胶跨越高台阶对成像的影响,分析了造成光刻胶剖面和关键尺寸变化的主要原因。一是台阶衬底的反射影响了光刻胶剖面形貌;二是高台阶光刻胶厚度比正常厚度变薄导致光刻曝光条件不适用于高台阶光刻胶。最后通过优化胶厚及增加底部抗反射层有效解决CD差异和改善光刻胶形貌。

  • 标签: 台阶 光刻胶厚度 CD差异 抗反射层
  • 简介:截止到2006年3月,全球共颁发了155张3G许可证,其中包括加拿大的5张PCS3G许可证。但是一些获得许可证的公司由于种种原因退还了许可证,所以持有在公司手中的有效3G许可证实际上只有147张。在这147张3G许可证中,选择WCDMA的有137个运营商,CDMA2000的有4家运营商,另外还有加拿大的5张PCS,和澳大利亚的CKWWireless公司的I-BURST系统。

  • 标签: 3G许可证 WCDMA 运营商 Wireless公司 全球 I-BURST系统
  • 简介:生产能力审计服务,是CCF顾问公司众多服务中主要的一项。它是通过CCF公司顾问从多年的SMT电子制造技术和审计的经验中,开发成的一套审计制度和评分方法,对用户的SMT生产能力进行审计、量化标定和比较。协助用户较客观的了解到本身在技术应用和管理上的真正实力、水平和强弱点。从而进行调整或改进,确保更有效的使用资源。这做法是公司改善提升所必须做到的第一步,也是当今先进管理和科学管理中一个不可少的工具和做法。

  • 标签: 审计服务 办事处 SMTA 生产能力 公司 中国电子专用设备工业协会
  • 简介:摘要:随着社会经济不断发展,各类工程项目如火如荼进行着,地质工程在其中具有基础性的作用,其施工质量好坏也会对其他各类工程的施工进度和质量带来极大影响,特别是在桩基施工方面,若遭遇复杂地势环境情况,不仅会为工程施工埋下诸多安全隐患,也会增大桩基施工难度。本文分析和探讨了复杂地势环境下的地质工程桩基施工技术。

  • 标签: 复杂地势环境 地质工程 桩基施工技术
  • 简介:摘要随着我国经济社会不断发展和计算机水平的不断提高,煤矿开采技术也因此得到了较大的突破,特别是在煤矿地质测量中采用数字化制图技术,给测量工作带来了极大的便利,在测量的速度和准确度上都有了很大的提升,为煤矿开采工作提供了许多可靠的参数和依据。

  • 标签: 数字化制图技术 地质测量 应用