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  • 简介:针对罩式炉产生批量黑斑缺陷,本文对产生黑斑的机理进行了详细的分析,并提出了改进的措施。同时对采取措施前后黑斑缺陷率进行了对比,验证了措施的有效性。

  • 标签: 退火 乳化液 氢气吹扫 黑斑