简介：摘要：集成电路制造中，湿法工艺指需要用到化学药剂的工艺，工艺的合理应用对于集成电路的性能和质量影响巨大。从集成电路的内涵出发，分析了集成电路湿法清洗、湿法去胶和湿法刻蚀工艺，针对湿法设备制造技术进行了探讨，并且以湿法刻蚀工艺为例，对其应用实践进行了阐述。
集成电路湿法工艺及湿法设备制造技术探析
