电子枪扫描控制技术

开展了扫描控制工艺研究，找到了扫描稳定性控制工艺的基本要素，从膜料预熔、挡板打开前的预扫描、挡板打开后的扫描几个方面进行优化，改进了扫描工艺，有效提高了镀膜蒸发的稳定性。