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三氯化铁蚀刻液再生循环技术应用研究

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摘要摘要：传统化学氧化法处理蚀刻废水存在氧化剂有毒、氧化效果有限或氧化剂本身增加额外杂离子等问题，再生过程中废液增量，再生循环次数少，实际生产应用有限。本文综述了三氯化铁蚀刻废液的产生过程及再生处理技术的应用进展，将电化学法与化学氧化法比较，针对化学氧化法处理蚀刻废水中存在的问题，介绍了“隔膜—一次通过流程”技术，对优势再生工艺的发展方向提出了建议与展望。

DOI 7dmyrx3ldn/6117630

作者段寒风，韩松洺王新迪，杨玉卓，侯铭，郑露莹，兰欣雨

机构地区沈阳师范大学化学化工学院，沈阳 110034

出处《科学与技术》 2022年5期

关键词三氯化铁蚀刻液电化学法离子交换膜废液再生循环

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2022年07月10日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）