简介:在半导体制造工业中,参数测试作为有效的对在线制品的监控手段,一方面反映了工艺线的工艺水平状况,另一方面它也是制造公司与设计公司之间进行沟通的主要依据。而对于新工艺研发来说,参数测量及分析更是整个研发过程中极其重要的一部分,及时准确的参数测量结果是产品工程师快速作出工艺研发方向的判断依据。因此,芯片参数测量分析的主要作用在于:在工业生产中得到大量的测量数据,用于评价工艺设备、半导体材料和电路结构,监视和控制工艺和器件参数的均匀性、重复性、协调性,分析工艺中存在的缺陷,诊断电路性能失常规律,预测成品率,预报可靠性信息等等。文章主要介绍了运用参数测试对在线工艺异常进行可靠性评估的方法。
简介:GJ20024199现代非开挖管线工程技术的崛起[刊,中]/宋翔雁//建筑机械化.—2002、(2).—21~26全面介绍现代非开挖技术的主要内容及其产生的背景和使用情况,较详细地介绍了国内外的发展状况,指出国内非开挖技术产业尚处于雏形阶段,在自身发展上有一些亟待解决的问题,同时对该技术的发展趋势及应采取的对策提出个人看法。图2表3GJ20024200导/定向钻进非开挖技术(一)[刊,中]/李延岗…//建筑机械化.—2002,(2).—27~31介绍非开挖铺设地下管线的五种施工技术。详细介绍了导向钻机结构形式及基配套装