简介：摘要：白光干涉测量常用于高精度光学元件或其他精密元件的测量，近年来随着该领域研究的不断深入，尽管从技术和应用水平上白光干涉测量方法都达到了一定水平，但移动精度不够的问题依然极大限制了白光干涉测量精度的提升。而基于全视场的高精度外差白光干涉测量方法，能够有效解决线性位移精度不准确的问题。在对高精度白光干涉测量方法进行简要概述后，阐述了全视场外差高精度白光干涉测量方法，为高精度白光干涉测量方法进一步研究发展提供借鉴。
高精度白光干涉测量方法
