简介:摘要:微机电系统作为基于集成电路基础发展而成的工程技术,在当今许多领域有着重要表现。本文简述了MEMS的发展历程、主要特征和相关器件应用,总结了MEMS器件制造过程中运用的关键技术及问题,论述了湿法腐蚀、干法刻蚀和加体硅加工工艺及表面微加工的相关内容,并对MEMS的发展前景进行了基于个人的预测。
简介:<正>00585UltraBroadbandMEMSSwitchonSiliconandGaAsSubstrates/R.Chan,R.Lesnick,D.Caruthetal(UniversityofIllinois,USA)//GaAsMANTECHConference.2003.—25报导了高可靠dc~110GHz低压毫米波GaAs与Si衬底MEMS开关的性能。当频率高至110GHz,该开关插损小于6dB,隔离度大于15dB,开关寿命大于6.9×10~9循环。文章还介绍了实现超宽带性能及高可靠性所采用的设计方法和制造方法。
简介:摘要:微机电系统作为一种完整机电系统结构的新型系统,该系统内部结构的器件均为微米或纳米级别,微机电系统侧重于超精密仪器加工。与传统的机电系统相类似,微机电系统由传感器、执行器、信号处理器以及控制电路电路组成,但其内部结构均为微型化部件,具备易集成、可批量生产、功耗低、价格低廉等优点,从而可以完成大尺寸机电系统无法完成的任务,微机电系统是目前交叉学课的重要研究领域,包括材料工程、机械工程、信息工程、医疗领域等,微机电系统已经逐步被应用于各个领域,展示出了巨大的市场潜力。健康问题是国家卫生安全问题的重要组成部分,将微机电系统应用于医疗领域有着光明的前景,因此,笔者就微机电系统在医疗领域中的应用展开论述。
简介:为了减小MEMS陀螺仪的正交误差,进一步提高陀螺精度,在Simulink环境中对陀螺结构和测控系统进行了建模和仿真。首先在理想状态的陀螺结构模型基础上建立了包含机械热噪声、模态间耦合等非理想因素的结构模型,并给出了陀螺结构的相关设计参数。其次在陀螺结构模型上以自激振荡和AGC控制技术为基础设计了驱动回路,该回路可在短时间内将驱动幅度稳定在10μm,且驱动频率为4048Hz(驱动模态的谐振频率)。然后分析了模态间耦合信号的作用方式并建立了正交校正和检测闭环力反馈回路,仿真结果显示,在全闭环状态下检测模态所受耦合力的幅度比未校正状态下降了5个数量级,等效输入角速度也从205(°)/s下降到了6.58(°)/h。最后对陀螺模型进行了整体测试,得到其标度因数和阈值分别为21.76mV/(°)/s和0.002(°)/s。