简介：评估了使用深反应离子刻蚀工艺来进行晶圆的切割,用于替代传统的刀片机械切割方式。结果表明,使用深反应离子刻蚀工艺,晶圆划片道内的硅通过等离子化学反应生成气态副产物被去除,从而避免了芯片侧面的机械损伤。切割后整个晶圆没有出现颗粒沾污,芯片边缘没有崩角以及开裂等损伤。该工艺还可以适用于更窄的划片道切割要求。
简介：近日,在韩国,虚拟现实技术已越来越多地应用到心理治疗当中.作为传统医疗方法的辅助手段,通过对真实环境的模拟,这种技术能够帮助患者更好地克服心理或精神障碍.据韩联社报道,虚拟现实设备的普及也让更多患者有能力承担这项治疗,并有望在家进行自我治疗.每个场景中,都会出现一个虚拟形象与患者对话交流。
硅的深度反应离子刻蚀切割可行性研究
韩国：兴起虚拟现实心理治疗
