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  • 简介:通过对夹膜短路的现象进行分析,确定改善对策,并对改善措施进行跟踪评估。评估结果发现干膜的正确选用对改善夹膜短路产生明显效果,而且能降低总生产成本,提升良品率。

  • 标签: 夹膜短路 抗蚀剂干膜 评估结果 生产成本