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一种湿法刻蚀设备的控制系统

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摘要摘要：本控制系统根据湿法刻蚀设备的工艺要求，以PLC为主控制器，工控机、ET200远程模块、阀岛、变频器等进行硬件系统的搭建，根据工艺流程基于博途V18进行软件编写，实现对硅片的刻蚀、清洗、碱洗、酸洗、烘干、传输等功能，经过设备在客户现场生产线上实际应用，控制系统运行正常，满足客户使用需求。

DOI 54k2m8z8y4/8064181

作者张道伟

机构地区（普达特半导体设备（徐州）有限公司江苏徐州 221000）

出处《当代电力文化》 2024年1期

关键词刻蚀设备控制系统 PLC

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2024年03月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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当代电力文化

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刻蚀设备控制系统 PLC

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