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扫描电子显微镜电压对比定位技术在电子元器件失效分析中的应用研究

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摘要摘要：电子元器件失效分析是通过对失效件的解剖、观察、分析研究，找出失效机理，查明造成失效件故障的根本原因，进而提出电子元器件改进措施，提高产品的良品率及可靠性。在电子元器件的设计、生产、测试以及应用等环节中，都离不开失效分析。随着电子元器件功能的多样化，外观的微型化，对于电子元器件失效分析能力的要求越来越高，如何对失效位置进行准确的定位成为失效分析的关键所在[1]。

DOI 0dp72q1wd2/7521593

作者霍向东代超马兆庆

机构地区 211422198804190011

出处《中国科技信息》 2023年10期

关键词电子元器件失效分析扫描电子显微镜电压对比

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2023年08月24日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）