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镀膜技术及设备

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摘要 TB4397063842磁控溅射电致变色非晶态氧化钨薄膜=Magnetronsputteredamorphoustungstenoxidenelec-trochromicfilms[刊,中]/史月艳,陈士元,杨晓继,

DOI pd5xmvzm47/715395

作者

机构地区不详

出处《中国光学》 1997年6期

关键词金刚石薄膜薄膜厚度人工晶体微细加工技术巴基管金刚石成核

分类 [理学][物理]

出版日期 1997年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国光学

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