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《中国电业与能源》
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2023年2期
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硅片传输机械手的改进及其定位精度研究
硅片传输机械手的改进及其定位精度研究
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摘要
摘要:本文对硅片传输机械手的改进及其定位精度进行了分析研究。当前,我国集成电路高速发展,其中高速、平稳的硅片机械手在运行速度上和控制精度上都具有一定的功能性优势,大大地提高了工业领域生产效率,有效推动了我国工业企业不断进步,取得了良好的经济效益与社会效益,具有非常深远的研究价值。
DOI
lde9z0e543/6990665
作者
杨志会
机构地区
应用材料(中国)有限公司 200000
出处
《中国电业与能源》
2023年2期
关键词
硅片
传输机械手
改进
重复定位精度
分类
[][]
出版日期
2023年04月18日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
中国电业与能源
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