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半导体行业特种气体气源柜研发及应用

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摘要摘要：近些年来，为进一步满足各行业领域生产应用需求，半导体行业器件生产领域对于气源柜的生产设计问题进行了统筹部署与合理规划。其中，特种气体气源柜作为半导体行业气源柜研发与应用的重点趋势。通过合理应用，不仅可以增强生产作业效率，同时也可以为客户规范使用提供便利条件。针对于此，本文主要对半导体行业特种气体气源柜研发及应用问题进行总结与归纳。

DOI 6jr8wzqp45/5852639

作者周长成

机构地区浙江创芯集成电路有限公司

出处《中国科技信息》 2022年1期

关键词半导体行业特种气体气源柜研发应用分析

分类 [][]

出版日期 2022年04月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）