摘要
摘要随着科学技术的发展，电子器件的散热问题对微流体传输提出了更高的要求，也极大的促进了微泵的发展。以压电陶瓷作为驱动元件的压电泵在微流体传输方面的所具有的优势越来越显著，它结构简单，利于微型化、集成化、流量可控，响应快、无电磁干扰，极大的吸引力国内外的研究学者的关注。频繁响应的阀的可靠性直接影响着泵的工作性能，但目前对于段时间内频繁开合的阀的可靠性却极少被关注。为此，本研究提出了一种钹型开槽式阀体，该阀由钹型格栅和钹型开槽膜片组成。针对在压电泵工作的钹型开槽阀，本文通过有限元分析软件Ansys基于流固耦合的方法分析了钹型开槽阀在不同频率工作下的应力情况。根据计算结果，得出在压电泵正常输出的工作频率范围内，频率为418Hz时，膜片所受应力的计算值达到最大，为81.74MPa。该研究验证了钹型开槽式阀体压电泵的有效性。
出版日期
2017年12月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
