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《中国工程物理研究院科技年报》
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超声波电机驱动的精密位移机构
超声波电机驱动的精密位移机构
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摘要
精密位移机构既是重要的运动执行元件,也是对工艺系统误差进行动态、静态补偿的元件。目前常见的精密位移机构一般利用弹性变形、机械传动、电磁力和压电陶瓷、电致伸缩和磁致伸缩等方式实现,这些方法都难以同时具有高频响、大行程、高精度的特点,有的还需中间的传动机构,结构复杂,精度难以提高,存在电磁干扰等问题。
DOI
ldezzwznd3/349665
作者
刘宏;李尚政;张日升;陈东生
机构地区
不详
出处
《中国工程物理研究院科技年报》
2003年1期
关键词
超声波电机
精密位移机构
驱动结构
压电陶瓷
分类
[理学][物理]
出版日期
2003年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
中国工程物理研究院科技年报
2003年1期
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