摘要
CharacteristicsofsiliconoxynitridesmadebyECRplasmas；CharacterizationandcomparisonofPECVDsiliconnitrideandsiliconoxynitridedielectricforMIMcapacitors；CharacterizationofsiliconoxynitridethinfilmsdepositedbyECR-PECVD；Characterizationofsiliconoxynitridesandhigh-kdielectricmaterialsbyangle-resolvedX-rayphotoelectronspectroscopy
出版日期
2005年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
