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三维微机电系统中微反射镜的转动分析

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摘要我们首先介绍了三维微机电系统(MEMS)作为光交叉连接设备(OXC)的总体结构以及微反射镜角度偏转的物理原理.然后根据应用在三维MEMS的电压和微反射镜偏转角度的控制关系,讨论了基于三维微机电系统(MEMS)的多端口光交换设备的一些特性.

DOI kwjvm8kqj7/324926

作者徐亮;孔华华;李敏;戴乐

机构地区不详

出处《光子技术》 2005年1期

关键词微反射镜微机电系统(MEMS) OXC 光交叉连接设备光交换设备三维

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2005年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）