首页
期刊导航
期刊检索
论文检索
新闻中心
期刊
期刊
论文
首页
>
《磷酸盐工业》
>
2004年2期
>
生产半导体元件用专用级高纯磷酸的制备
生产半导体元件用专用级高纯磷酸的制备
打印
分享
在线阅读
下载PDF
导出详情
摘要
制备分析样品的方法:将欲被分析的杂质从磷酸中单独沉积下来并与磷酸分离;分析杂质的方法:将杂质从磷酸中单独沉积下来并与磷酸分离;再对分离的物质进行分析;制备高纯磷酸的方法:从待净化的磷酸中单独沉积出杂质并进行分离;制备半导体元件的方法:用磷酸作处理液,该磷酸的杂质含量(由所含的放射性元素Pb,Bi和Po的浓度确定),不大于10^-3Bq/ml(Bq,贝克勒尔,放射性单位)。
DOI
rj8k0397j0/2233410
作者
彭力国
机构地区
不详
出处
《磷酸盐工业》
2004年2期
关键词
半导体
磷酸
制备方法
定量分析法
PH值
分类
[化学工程][无机化工]
出版日期
2004年02月12日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
相关文献
1
朱文平;宫建国.
半导体元件清洗技术浅谈
.物理电子学,2003-07.
2
黄爱华.
半导体用高纯石英砂制造工艺分析
.建筑技术科学,2024-06.
3
董梅顾传波.
厚膜半导体工艺在气敏元件生产中的应用
.文化科学,2019-01.
4
孙伟,郝男,王红艳.
ZnO纳米半导体材料制备
.企业管理,2009-11.
5
.
半导体光学材料及制备
.物理,1998-01.
6
.
半导体光学材料及制备
.物理,1996-03.
7
钟本和;张允湘;王国平.
用湿法磷酸制纯磷酸一铵
.无机化工,2003-04.
8
赵晓丽.
半导体封装件及其制备方法分析
.电力系统及自动化,2018-12.
9
雷武.
以湿法磷酸生产纯磷酸一铵
.无机化工,2006-04.
10
.
高纯碳酸锶的制备
.无机化工,2002-01.
来源期刊
磷酸盐工业
2004年2期
相关推荐
半导体硅片生产形势的分析
智能功率半导体器件与集成电路专用设备中功率半导体器件的研究
半导体技术对无源电子元件发展的影响
半导体专用设备的真空系统维修研究
高纯碳酸钡的制备
同分类资源
更多
[无机化工]
盐水质量对电解工序运行的影响
[无机化工]
公司领导毛绍融等与近百名青年人才面对面交流 勉励青年人才时刻准备接过杭氧发展的接力棒
[无机化工]
硼化物文摘
[无机化工]
空分工程中的项目管理应用
[无机化工]
年产100万t联碱项目
相关关键词
半导体
磷酸
制备方法
定量分析法
PH值
返回顶部