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六氟化钨的合成与开发

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摘要介绍了国外六氟化钨的制备和精制工艺进展，重点描述了电子工业中应用的高纯度六氟化钨的制备工艺。同时介绍了六氟化钨的性质、产品规范、应用及经济等方面的状况，评述了六氟化钨在国内外的发展前景。

DOI 9ojngwem4r/191585

作者于剑昆

机构地区不详

出处《无机化工信息》 2004年2期

关键词六氟化钨合成开发性质工业化生产化学气相沉积

分类 [化学工程][无机化工]

出版日期 2004年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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无机化工信息

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