摘要
<正>基于微电子机械系统的可调谐滤波器和垂直腔表面发射激光器具有宽的连续调谐范围、无偏振灵敏工作和二维陈列集成的独特性能,因而已引起极大关注。但它的一大缺点是需要几十伏的调谐电压,此外由于微机械悬臂是通过静电力向下移动,其实际移动距离仅为实际宽度1/3,所以这种采用静电力的MEMS基滤波器的最大调谐范围受到限制。日本东京技术研究所的微系统研究中心首次研制成功一种具有低调谐电压的新型GaAlAs/GaAs微机械热调谐垂直腔滤波器,由于热应变控制层与加热元件的集成,具有创记录的低至4.7V的调谐电压,并可获得23.2nm的波长调谐。该器件是在上下两层GaAlAs/OaAsDRB之间形成一个空气隙,在上GaAlAs/GaAsDRB上有GaAs或GaAlAs热应变控制层,当施加电压时热应变导致微机械悬臂的移动。当热应变控制层为热膨胀系数较小的GaAlAs时,悬臂向上移动。反之,为热膨胀
出版日期
2003年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
