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微机械加速度计及电容检测电路的设计

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摘要本文讨论一种扭摆式微机械加速度计。介绍其敏感元件的结构，振动模态和数学模型，说明了集成电容检测电路的原理，并对该电路进行了具体设计，利用ＰＳＰＩＣＥ软件进行仿真分析，结果证明完全达到要求，并给出了同步解调器电路的形式，为进行版图设计打下了基础

DOI 9odw1003jk/146056

作者赵长德;陈文曰;徐力

机构地区不详

出处《中国惯性技术学报》 1999年1期

关键词微机械加速度计电容传感器集成电容检测电路

分类 [理学][力学]

出版日期 1999年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国惯性技术学报

中国惯性技术学报

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