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介绍一种区熔掺杂方法

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摘要一般说来,通过涂P2O5溶液生产区熔单晶的主要缺点是纵向电阻率范围较大和掺杂的重现性较小。特别是在中心电阻率较高的情况下更是如此。例如目标电阻率为80—100Ω·cm的区熔晶体一般需用中子辐照方法掺杂。它的主要优点是重现性几乎达100％,纵向电阻率范围窄。一般情况下,电阻率范围为±10Ω·cm,较好的情况可达±5Ω·cm。但它也存在生产周期长这一主要缺点,从晶体拉制后算起,到退火完毕,需要1个月左

DOI 3j7oweew41/1075853

作者黎德明

机构地区不详

出处《湖南有色金属》 1990年5期

关键词纵向电阻率区熔掺杂方法中子辐照周期长分凝系数

分类 [冶金工程][有色金属冶金]

出版日期 1990年05月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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湖南有色金属

1990年5期

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