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半导体制造设备的进步支撑半导体产业的持续发展

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摘要摘要：半导体制造设备的进步是推动半导体产业持续发展的关键因素。随着技术的不断革新，半导体制造设备在精度、效率、自动化和智能化等方面取得了显著突破，为半导体产业提供了强大的技术支撑。这些进步不仅提高了半导体产品的质量和性能，还降低了生产成本，加速了产品上市时间，满足了市场对高性能、低功耗电子产品的不断增长的需求。未来，随着新型材料、新工艺的不断涌现，半导体制造设备将继续推动半导体产业向更高层次发展。

DOI 54k2mqy9l4/8274533

作者李雪

机构地区北京北方华创微电子装备有限公司北京 100176

出处《中国科技信息》 2024年4期

关键词半导体制造设备技术进步产业发展

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年05月20日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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中国科技信息

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