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《现代材料动态》
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2009年10期
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SiC生产中缺陷现状
SiC生产中缺陷现状
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摘要
微管道(MP)一直是SiC晶体中的主要缺陷。其它的结构缺陷有:位错,堆垛层错和本征点缺陷及其与杂质所形成的复合体。除高质量晶体外,具有平滑的、无缺陷表面的衬底对于生长出器件级高质量外延层也很关键。晶片加工过程中可能在衬底表面上感生出缺陷(例如划痕或亚表面损伤),它们对随后所生长的外延层及所制器件都有很不利的影响。
DOI
rdxg1k7l4l/800273
作者
邓志杰(摘译)
机构地区
不详
出处
《现代材料动态》
2009年10期
关键词
SIC晶体
结构缺陷
生产
衬底表面
堆垛层错
缺陷表面
分类
[一般工业技术][材料科学与工程]
出版日期
2009年10月20日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
现代材料动态
2009年10期
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