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应变PMOS沟道区应力分布与器件结构参数关系的研究

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摘要摘要：应变MOS器件是在以Si为基础的MOS器件制造过程中引入了应力。通过在氮化硅盖帽层上施加应力使器件的晶格常数差异可以产生压应变或张应变，从而提高载流子的迁移率。

DOI rdx8ylvyjl/7820701

作者蓝红润

机构地区广东美的暖通设备有限公司 528311

出处《中国科技信息》 2023年15期

关键词应变 PMOS 应力

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2023年11月24日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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2张远睿,喻春丽. 主体结构工程检测中的应力-应变关系研究与分析.建筑理论,2024-01.
3曹莎莎. 不同模具参数下对冲压件转角区应力与应变的仿真分析.,2022-07.
4杨博超徐亚兵邢昆谷丰李乾孙忠周于吉刚. 基于布里渊散射的电力沟道分布式光纤应力监测系统.电力系统及自动化,2016-04.
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7贾慧鹏. 张峰水库大坝坝体应力应变参数反演计算.水利水电工程,2016-03.
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9郑红勇;柴丽娟. 玻化微珠保温混凝土的应力-应变关系试验研究.教育学,2016-02.
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