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金属有机硅薄膜（MOSTF）

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摘要建议用途：这种方法可以用来制造金属光阻抗蚀或可刻印膜。膜的脊柱结构含有硅、碳和各类金属。这些光阻抗蚀膜有不同的工业应用，例如制造薄膜磁头，内存储存设备，生物检测鉴定，波的导航，光学与平板技术等等。

DOI rdxgozo94l/766249

作者

机构地区不详

出处《有机硅氟资讯》 2009年6期

关键词金属有机硅薄膜工业应用薄膜磁头储存设备检测鉴定

分类 [化学工程][有机化工]

出版日期 2009年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）