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原子力显微镜的基本原理及其方法学研究

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摘要简述了原子力显微镜探测物体表面形貌的基本原理,具体地介绍了原子力显微镜的四大核心构件的属性与功能:激光器、微悬臂、压电扫描器、光电检测器管;详细地阐述了该仪器探测运行的三种模式:接触模式、非接触模式、轻敲模式,并重点讲述了轻敲模式的独到之处;强调了原子力显微镜所能进行的参数分析和数据处理功能,同时将原子力显微镜同其它表面探测仪进行了比较,突出了AFM的优越性;并结合仪器的构造和工作原理,对仪器的改进和发展提出了一些建设性意见.

DOI k5jok53k4v/282260

作者朱杰;孙润广

机构地区不详

出处《生命科学仪器》 2005年1期

关键词方法学研究原子力显微镜物体表面仪器基本原理压电

分类 [机械工程][精密仪器及机械]

出版日期 2005年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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生命科学仪器

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