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等离子清洗技术（一）

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摘要文章对等离子清洗技术做了全面介绍，不仅介绍了有关等离子的基本概念、低温等离子体制备技术及其相关装置，而且着重介绍了它在精密清洗中的应用及其注意事项，指出等离子清洗技术在淘汰ODS清洗剂过程中能够发挥重要作用。

DOI 54kn3xq04k/2124257

作者熊楚才

机构地区不详

出处《洗净技术》 2003年09M期

关键词等离子技术原理干法物理清洗技术物体表面

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2003年05月04日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）